【广州：鼓励发展光刻胶、光芯片等高端半导体制造材料】广州市人民政府网站发布《广州开发区广州市黄埔区促进集成电路产业发展办法》，文件提到，鼓励发展大硅片、光掩膜、电子气体、光刻胶、抛光材料、高纯靶材、光芯片等高端半导体制造材料，支持清洗设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入、沉积设备、封装设备（划片机、减薄机、引线键合机、倒装键合机及贴片机等）、检测设备（测试机、探针台等）以及单晶生长炉、外延生长炉等设备、关键零部件及工具国产化替代。（中新经纬APP）
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