【广州:鼓励发展光刻胶、光芯片等高端半导体制造材料】广州市人民政府网站发布《广州开发区广州市黄埔区促进集成电路产业发展办法》,文件提到,鼓励发展大硅片、光掩膜、电子气体、光刻胶、抛光材料、高纯靶材、光芯片等高端半导体制造材料,支持清洗设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入、沉积设备、封装设备(划片机、减薄机、引线键合机、倒装键合机及贴片机等)、检测设备(测试机、探针台等)以及单晶生长炉、外延生长炉等设备、关键零部件及工具国产化替代。(中新经纬APP)

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